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退火爐
◆可配工藝管數(shù)量:1~5管/臺(tái) ◆工作溫度范圍:200~1000℃ ◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:300~1200mm800~1000℃±0.5℃ ◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:800~1000℃±0.5℃/24h ◆最大可控升溫速度:15℃/min ◆最大降溫速度:15℃/min
關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體 光伏 工業(yè)爐
所屬分類：
產(chǎn)品描述
主要技術(shù)參數(shù)
◆可配工藝管數(shù)量:1~5管/臺(tái)
◆工作溫度范圍:200~1000℃
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:300~1200mm800~1000℃±0.5℃
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:800~1000℃±0.5℃/24h
◆最大可控升溫速度:15℃/min
◆最大降溫速度:15℃/min
該系統(tǒng)主要功能如下
◆全中文操作界面,可編輯參數(shù),操作簡(jiǎn)便
◆可保存多條工藝曲線,每條曲線可設(shè)置多步
◆工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能
◆自動(dòng)運(yùn)動(dòng)中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能
◆工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能
◆智能升降溫斜率控制功能
◆PID參數(shù)自整定功能
◆可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
◆系統(tǒng)故障的檢測(cè)與報(bào)警功能
◆系統(tǒng)誤差修正（單點(diǎn)或多點(diǎn)動(dòng)態(tài)修正功能)
◆智能懸臂推拉舟控制功
◆工藝氣體的程序控制功能（閥門/質(zhì)量流量控制器）
◆停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等
◆該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開(kāi)發(fā)相應(yīng)的功能。
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