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第四代軟著陸低壓擴(kuò)散系統(tǒng)
低壓軟著陸擴(kuò)散系統(tǒng)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件POCls和BBrs擴(kuò)散工序，工藝系統(tǒng)采用低壓擴(kuò)散的方式。控制終端采用專業(yè)工控機(jī)配備進(jìn)口溫控儀表、質(zhì)量流量計(jì)及完善的報(bào)警功能，保證整個(gè)工業(yè)過程完全不受外表環(huán)境干擾，系統(tǒng)整機(jī)清潔，每管配備獨(dú)立的尾氣回收系統(tǒng)，降低了石英制品清洗的頻次。
關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體 光伏 工業(yè)爐
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產(chǎn)品描述
低壓軟著陸擴(kuò)散系統(tǒng)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件POCls和BBrs擴(kuò)散工序，工藝系統(tǒng)采用低壓擴(kuò)散的方式?？刂平K端采用專業(yè)工控機(jī)配備進(jìn)口溫控儀表、質(zhì)量流量計(jì)及完善的報(bào)警功能，保證整個(gè)工業(yè)過程完全不受外表環(huán)境干擾，系統(tǒng)整機(jī)清潔，每管配備獨(dú)立的尾氣回收系統(tǒng)，降低了石英制品清洗的頻次。
第四代軟著陸擴(kuò)散系統(tǒng)主要優(yōu)勢(shì)工藝運(yùn)行穩(wěn)定、均勻、可靠;設(shè)備溫度控制系統(tǒng)、氣體控制系統(tǒng)、取送片系統(tǒng)、管內(nèi)壓力穩(wěn)定系統(tǒng)、報(bào)警及應(yīng)急處理系統(tǒng)等功能齊全。
溫度控制:全部采用進(jìn)口穩(wěn)定可靠的模塊化儀表，能夠?qū)崿F(xiàn)整個(gè)工藝過程中的自動(dòng)控溫,系統(tǒng)無需測(cè)試恒溫區(qū)，工藝過程可直接使用PROFIL控溫。取送片系統(tǒng):由我公司精心研制的軟著陸裝置，全數(shù)字控制，性能更加穩(wěn)定，其特點(diǎn)平穩(wěn)可靠、無爬行、SiC槳實(shí)現(xiàn)免清洗、定位準(zhǔn)確、承重量大、使用壽命長(zhǎng)。
管內(nèi)壓力控制系統(tǒng):采用先進(jìn)的壓力控制系統(tǒng)，管內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定。工藝廢氣冷卻回收裝置:把工藝廢氣集中收集從尾部定向排除，保證工藝管道清潔,芯片不被偏磷酸沾污，工藝質(zhì)量完全可控。石英管與碳化硅槳免維護(hù)。
我公司可以根據(jù)客戶要求對(duì)現(xiàn)有擴(kuò)散爐進(jìn)行改造升級(jí)，升級(jí)后設(shè)備性能得到極大的提升。
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